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真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,板式换热器氦测漏系统,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多 氢气检漏的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作:
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测;
2、插上检漏仪电源,关闭上部手动挡板阀,开启检漏仪总电源,此时,“放气”灯亮起,等待系统运行;
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时,观察预置参数,应为10-15,一般取15,观察数值,应为10的-8至-9次方时,可以开始氦气检漏(等待几分钟);
4、按“检漏”键,缓慢开启顶部手动挡板阀,注意:检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏;
5、数值稳定后,先记录下来,这就是“本底”;
6、逐个将氦气充入焊缝,并封堵插入口,将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟,看数值有无大的变动。
7、关机时,应先关闭上部手动挡板阀,然后开启放气键,关电源。
真空设备检漏
如何判断真空系统是否存在漏气,通常采用静态升压法,即把容器抽到一定压强后,关闭阀门将被抽容器与泵隔开,若容器漏气或材料放气,容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同
1.直线A
压强不随时间变化,说明系统即不漏气,也不放气。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直线B
压强期初上升很快,而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡,这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低,故曲线渐趋向于平衡。
3.直线C
是一斜率为ΔP/Δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线D
开始压强上升较快,而后渐渐减慢,后变成斜率为ΔP/Δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线D可以认为是B和C的叠加。如果出现曲线C和D的情况,则判定系统有漏气。